デュアルチャンバー構造

リアクターがバキュームチャンバー内に位置し、リアクターが大気に接しない構造になっています。リアクターとバキュームチャンバーの間には中間層があり、常に窒素雰囲気下に保たれています。
又、リアクター全体がヒーターに囲まれ均一なヒーティングをする事により均一な膜質の実現に貢献しています。
リアクター蓋にはOリングを使用せず、メタルトゥメタルのシール構造になっています。
窒素雰囲気の真空中間層の断熱効果により、バキュームチャンバーはコールドウォールとなり、オペレーターにとってのやけどや、火災の原因になる事を防いでいます。
又、リアクションチャンバーがバキュームチャンバー内に隔離されている為、危険な化学物質が直接大気中に放出される事はありません。
リアクションチャンバーの蓋の開閉は自動でボタンを押すだけです。リアクターが加熱されていてもオペレーターが蓋に触る必要はありません。

トップフロー方式

試料の真下から真空引きを行います。トップフロー方式の場合、分子が一様に基板に吸着し、均一な成膜に最も適切な方式です。

ロードロック、ローダーのアップグレード

ロードロックやローダーをアップグレードし、真空を破らないようにする事が可能です。

タッチパネル式ディスプレイ

ユーザーフレンドリーなタッチパネル式ディスプレイのユーザーインターフェースを採用しています。

３Dパーツ全面コーティング

表面が多孔質な基板や、3D、又ナノパーティクルでもコーティング可能です。

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