アプリケーション

ALD アプリケーション例

  • High-Kゲート絶縁膜:Al2O3, HfO2, ZrO2, Ta2O5, La2O3
  • DRAMトレンチキャパシター:HfO2, Al2O3, Ta2O5
  • 金属ゲート電極:TiN, Ir, Pt, Ru
  • バリアメタル:TiN, TaN
  • FeRAM,etc用デフュージョンバリアー:Al2O3
  • FinFETなどの3Dデバイス
  • MEMS、ナノラミネート:HfO2/ Ta2O5, TiO2/ Ta2O5, ZnS/ Al2O3
  • 生体適合性材料コーティング:TiN, ZrN, CrN, TiAlN, AlTiN
  • UVブロックレイヤー:ZnO, TiO2
  • 有機EL素子保護膜:Al2O3
  • オプティカルデバイス、etc.:AlTiO, SnO2, ZnO
  • 太陽電池,パッシベーションレイヤー:Al2O3
  • 圧電素子:AlN, ZnS, ZnO

ZnO逆オパール構造

Nb2O5ナノチューブ

アモルファス酸化アルミニウム Al2O3
Mikrokemia Oy / University of Helsinki

イオンディフュージョンバリアー

多結晶チタン酸ストロンチウム SrTiO3
高誘電率絶縁体
University of Helsinki

メモリーサーキット用キャパシター


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