| 従来のエリプソメーターは方位分解能が約50μmぐらいで、膜厚測定はレーザースポットがあたる1点のみを測定していました。 これに対しイメージングエリプソメーターEP3シリーズは方位分解能1μm、深さ方向の測定精度は0.004nm(SiO2/Si)を達成し、膜厚分布の3Dマップ化が可能です。ナノストラクチャーの解析に有効な装置です。 
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 リン脂質 / GalCer混合バイレイヤーの相分離3Dマップ |
マクロな領域の全体像を観察してからローカルな領域にフォーカスする事ができます。バイオチップのクオリティーコントロールなど様々なアプリケーションにこの特徴を利用する事ができます。
DNA 10000スポットの3Dマップ (ca. 75x25 mm2)  |
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DNAシングルスポットの3Dマップ  |
形や厚さの異なるDNAスポットを判別する事ができます (ca. 200 um) |
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AFMをインテグレートし、エリプソメーターとAFM両方による観察が可能です。
ハードディスク磁気ヘッドスライダーのエリプソメーター、AFMでの観察、及び構造のモデル化
SPR（表面プラズモン共鳴）のフローセルをインテグレートし、バイオセンサーのアプリケーションに対応する事ができます。
Valiokas R, Klenkar G, Tinazli A, Tamp R, Liedberg B, Piehler J (2006) ChemBioChem 7, 1325 - 1329
−ＬＢ膜作成装置にBAMをインテグレートして気/液界面の試料を観察する場合、通常下層液の蒸発により界面レベルが徐々に低下し、画像がぶれてくる問題がありますが、EP3 BAMはレーザーの反射で界面レベルを感知し、ゴニオメーターが自動的にレベルを調節する機構があります。
−観察対象物の微動による画像のぶれや焦点のぶれをオブジェクトトラッキングアルゴリズムとスキャニングで自動補正します。
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| 補正前 | 補正後 |
-補償子やソフトウェアを後付してＢＡＭをエリプソメーターにする事ができます。
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| DMPE (dimyristoyl phosphatidyl ethanol amine) |
Fluorinated Stearic Acid Omega-fluorinated stearic acid (F3C18) |
LB膜作成装置のトラフ上に取り付けて使用できるように超コンパクトに設計製作されました(125 x 70 x 55 mm)。
