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SPM/M4PP_製品特徴
SPM/M4PPイメージ 走査型伝導度顕微鏡 SPM/M4PP スキャニングプローブマイクロスコープ/ マイクロ4ポイントプローブ
従来の1/1000サイズのマイクロ4端子プローブにより、
表面・薄膜の電気伝導をイメージング
サブミクロン領域の表面・薄膜の電気伝導測定が可能
プローブは極微接触力(10-5 N以下)で試料を傷めません。

製品特徴
本システムは東京大学大学院理学系研究科物理学教室、デンマーク工科大学マイクロエレクトロニクスセンター、デンマークCapresA/S社により共同研究開発されました。
従来のマクロな4端子プローブでは試料のバルク伝導が大きすぎる為解析できなかった表面・薄膜の電気伝導解析が、M4PPにより可能となりました。
詳細は下記URLにて表面科学23巻第12号に掲載された共著"ミクロな4端子プローブによる表面電気伝導の測定"をご参照ください。

[東京大学 長谷川研究室サイト]
http://www-surface.phys.s.u-tokyo.ac.jp/top_j.html

「ミクロな4端子プローブによる表面電気伝導の測定」 (pdf )
http://www-surface.phys.s.u-tokyo.ac.jp/papers/2002/Hase_SSSJ02.pdf
製品特徴イメージ
応用分野
液晶・半導体製造工程における導電性検査、微細加工後の不均一性の測定
ナノテクノロジーにおける機能性薄膜の開発

高い再現性
Auフィルムの表面を連続測定。標準偏差は0.18%です。
 

導電性ポリマーの表面スキャニング例
表面スキャニング例
数値は相対電気抵抗値、測定ポイントは10μm幅でトータル1000ポイントです。わずかな導電性の差異も検出できます。
装置構成図
装置構成図
 
ソフトウェアインターフェイス
ソフトウェアインターフェイス
ソフトウェアはグラフィカルインターフェースで
パラメーターの設定も簡単です
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