ALTECH/CAPRES-products info
SPM/M4PP_製品特徴
SPM-CIPTech(Ver2.)技術仕様  
一般仕様
試料サイズ(最大) 直径200mm / 8インチ
重量 約450kg
機械寸法 94×84×220cm
(幅x奥行x高さ、装置最上部のHEPAフィルターを含む) 
ユーティリティー
圧縮空気 1.7m3/h(1.0 scfm)、Min.プレッシャー8bar(クリーン、ドライエアー)
バキューム 0.8m3/h(0.5 scfm)、Max.プレッシャー0.3bar
電源
電圧 100/110/230VAC
電流 10A以下
周波数 50/60Hz
コンピューター ネットワークインターフェイスを備えたPC(動作環境Windows2000/NT/Linux、お客様にて御支給賜ります)
装置動作環境 温度範囲22℃±2℃
相対湿度30〜70%
無線周波妨害の元となるもの、振動、ホコリの近くにシステムを設置しないで下さい
ESDが安全に作動する場所
  
ステージコントロールユニット
サンプルホルダー
(バキューム チャック)
8"ウエハー(200mm)試料に適している。チャックにピンが付いており、試料のノッチアライメントが可能。
最小サンプルサイズ 70mm
最大サンプル高さ 25mm
3軸の電動ステージユニット
Z軸範囲 50mm
Z軸分解能 2.5nm
XY軸範囲 150mm
XY軸分解能 10nm
動作精度XY,Z1 2μm/150mm
動作精度Z2 2μm/50mm
モーター速度(xy) 100mm/s     
 
除震台システム
テーブルシステム 350kg花こう岩製
振動防止プラットフォーム(エアクッション付き)
防塵ケース 騒音、ホコリなどから装置を保護するための透明なケース
   
測定プローブ
ミクロ4ポイントプローブ
材質 SiO2カンチレバー(Si基板に取り付け)
金属化 Cr/Au
プローブ平均間隔
(最小:最大)
1.5μm ; 8.25μm (ナローデザイン)
1.5μm ; 18μm
(スタンダードデザイン)
1.5μm ; 70μm
ワイドデザイン)
接触力 10-4N以下
  
測定/コントロール エレクトロニクス
エレクトロニクス 12〜4MPX内臓
抵抗範囲 10mΩ以上1MΩ以下
電子精度 ±0.5%
AC定電流範囲 100nA 以上1mA 以下
フロントエンドバンド幅 1Hz以上10kHz 以下
電位計入力インピーダンス 1012Ω
光学システム 7:1ズームを含むコンピューターコントロールのxyzステージに設置された高分解能CCDカメラ
コントローラー 電動部及び情報収集システム
ポジショニングシステムの真下に据え付けられた475mmのラックに設置
 
プローブヘッド
連連続磁場 ±250 Oe
(150mmの動作範囲全体に使用可能、プローブヘッド周辺に取り付け)
最大磁場速度 500 Oe/sec以上
フィールド分解能 ±0.2 Oe以下




(注) 仕様はメーカーサイドで必要に応じて変更することがございます。
   予めご了承ください。
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