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SPM-CIPTech_製品特徴

SPM-CIPTechイメージ 走査型伝導度顕微鏡 SPM-CIPTech スキャニングプローブマイクロスコープ − シプテック
 

製品特徴
現在世界中が注目するMRAM(MagneticRandomAccess Memory)をはじめとする、次世代磁気メモリー/磁気ヘッドの開発やクオリティーコントロールに大きく貢献する画期的計測システムです。
MTJ(MagneticTunnelJunction)ウエハーのMR/RA (magnet resistance / resistance area product)をダイレクトに測定します。

MTJウエハーMR/RA測定テストにおける、従来の方法とSPM-CIPTechの工程比較

測定技術
SPM-CIPTechの測定技術は、12端子を使用しウエハー表面の電気抵抗をダイレクトに測定するものです。
12端子のプローブを様々に組み合わせる事により、様々なプローブスペース間隔でのMR/RAを測定する事ができます。

従来必要とされたMTJウエハーの加工(リソグラフィー、エッチング等、工程比較で記載された加工工程)は一切必用ありません。ウエハー加工時の損傷によるMRの劣化等も無くなります。
従来1−2週間の時間が必要だったテストは2分で終了します。

SPM-CIPTechは、米IBM社と独InfineonTechnologies社が開発した技術であるCurrentIn-PlaneTunneling (CIPT)と、CAPRES社のマイクロスコピック12ポイントプローブの技術を融合させて開発されました。
CAPRES社は世界で唯一CIPTのライセンスをIBM/ Infineon Technologiesより受けております。

装置比較
装置比較:画像
 
ソフトウェアインターフェイス
ソフトウェアインターフェイス
ソフトウェアはグラフィカルインターフェースで
パラメーターの設定も簡単です
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