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M4PP SEMモジュールイメージ
  M4PP SEMモジュール
(SEM用後付けモジュール / マイクロ4端子電気伝導測定)
In-Situ Scanning Electron Microscope Sheet Resistance Probing

マイクロ4ポイントプローブをマニピュレーターに接続し、解析ソフトを組み込んだスタンドアローンのアプリケーションモジュールです。走査型電子顕微鏡(SEM)に後付けする事により、SEMの真空中で試料の画像をとらえながら、電気伝導測定を容易に行うことが可能となります。

製品特徴
SEMの真空中で試料の電気伝導測定が可能です。
マイクロ4端子でサブミクロン領域の測定が可能です。
プローブは極微接触力で試料を痛めません。
どのようなSEMにも後付け可能です。
 
即定例
Pt 配線 (1 μm x 1 μm x 25 μm)の抵抗測定
応用分野
ナノワイヤー、ナノチューブの電気伝導測定
導電性ポリマーの電気伝導性解析
半導体分野におけるシート抵抗の測定
ナノテクノロジーにおける機能性薄膜の開発
仕様
M4PP SEMモジュールイメージ

M4PP SEMモジュールイメージ
プローブタイプ
カンチレバースペーシング
(プローブピッチ)
5, 10, 15, 20, 25, 30 μm
コントロールボックス
抵抗測定範囲 1 mΩ - 10 MΩ
測定電流 10 pA - 1 mA
デュアル周波数ロックイン <10 Hz ? 10 kHz
コンプライアンス電圧 ±1 − ±12 DC Volts
4 : 4 マルチプレクサー 端子の選択
表面検知トリガー TTLレベル
ポート(TCP/IP コントロール) イーサネット
ソフトウェア Lab-ViewRもしくはテーミナルプログラムコマンドにてコントロール可能
電源 100 V - 240 V AC 50/60 Hz
コントロールボックス寸法 100 x 80 x 170 mm
パワーサプライユニット寸法 100 x 80 x 170 mm
装置構成図
装置構成図
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