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asmec アルテック株式会社
仕様
UNAT
最大試験荷重(垂直) ±2000 mN  
荷重分解能(デジタル) 20 nN  
荷重分解能(ノイズ考慮) 3μN   
最大押し込み深さ(垂直) ± 200μm  
距離分解能(デジタル) 0.002 nm  
距離分解能(ノイズ考慮) 0.5 nm  
最大スクラッチ長さ 1μm 〜 50mm  
ビデオカメラ画素数 640 x 480 ピクセル  
対物レンズ 50倍  
焦点深度 / 作動距離 0.6μm / 0.3mm  
光源 グリーンLED 1W
光学倍率(19”スクリーン上、低) 560倍 視野 336 x 252μm2
光学倍率(19”スクリーン上、高) 2180倍 視野 86 x 64μm2
画素分解能(低 / 高) 525nm / 135nm  
Xステージ移動範囲 200mm 分解能 0.5μm
Yステージ移動範囲 50mm 分解能 0.1μm
Zステージ移動範囲 50mm 分解能 0.1μm
最大試料寸法(X x Y x Z) 80 x 45 x 30mm  
重量 約100kg  
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UNAT-M
最大試験荷重(垂直) ±1500 mN  
荷重分解能(デジタル) ≤ 200 nN  
荷重分解能(ノイズ) ≤ 10μN  
最大押し込み深さ(垂直) ±150μm  
距離分解能(デジタル) ≤ 0.05nm  
距離分解能(ノイズ) ≤ 1nm  
ビデオカメラ画素数 640 x 480 ピクセル  
対物レンズ 20倍 他の倍率のご要望承ります。
焦点深度 / 作動距離 0.6μm / 6mm  
光源 グリーンLED 1W
光学倍率(19”スクリーン上) 750倍 視野 336 x 252μm2
画素分解能 525nm  
Xステージ移動範囲 25mm 分解能 2μm
Yステージ移動範囲 25mm 分解能 2μm
最大試料寸法(X x Y x Z) 40 x 40 x 10mm  
重量 約55kg  
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SEM用ナノインデンター
最大試験荷重(垂直/) ±1000 mN  
荷重分解能(デジタル) ≤ 50nN  
荷重分解能(ノイズ) ≤ 5μN  
最大押し込み深さ(垂直/水平) ± 70μm  
距離分解能(デジタル) ≤ 10pm  
距離分解能(ノイズ) ≤ 1nm  
24 bit A-D / D-Aコンバーター 40 kHz  
ピエゾコントロール ±120 V  
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