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asmec アルテック株式会社
アプリケーション

● コーティング膜の評価(軟らかいポリマー状のものからDLC等の硬質材料まで)
● ガラス基板を下地とする保護皮膜の評価
● ゾルゲルコーティング膜の評価
● ファイバーや金属細線などのマイクロ引張強度試験
● 合金におけるマトリクス効果の解析
● 水平荷重による摩擦 / 磨耗のメカニズムの解析
● ダイボンディング接着度の評価
● FPD用スペーサーの強度評価

マイクロスクラッチテスト TiNのマイクロスクラッチテスト
マイクロスクラッチテスト5 μm Cuの梁の曲げ試験 (courtesy of Dr. C. Motz)
マイクロスクラッチテスト800 nm TiNコーティングの柱状Cu (111) (courtesy D. Kiener)
ナノインデンテーション 疲労試験(垂直荷重)
疲労試験(水平荷重) マイクロ磨耗試験
表面粗さのスキャニング ニューラルネットワーク法による応力−ひずみ線図
マイクロスクラッチテスト
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chart コーティングしたガラスのマイクロスクラッチテスト。0 mN (左) から35 mN (右)に荷重を増加させています。
垂直 / 水平両方向における高分解能により、破断点を検出する事ができます。又、表面の不均一性による影響はスクラッチ距離を短くする事で低減する事ができます。
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TiNのマイクロスクラッチテスト
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5μm Cuの梁の曲げ試験 (courtesy of Dr. C. Motz)
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(荷重の減少はSEMイメージ取得時のクリープによるものです)

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800nm TiNコーティングの柱状Cu (111) (courtesy D. Kiener)
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ナノインデンテーション
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(左) アルミをコーティングしたガラス塑性変形
(右) コーティングしていないガラス破砕

アルミをコーティングしたガラスと
コーティングしていないガラスの比較
( FN = 200 mN, hL = 10 μm, vL = 10μm/s)

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疲労試験(垂直荷重)
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周波数0.5Hzで垂直荷重を40mNから50mNに200回変えてコーティングに影響を与えるか試験。結果コーティングに影響は無かった。
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疲労試験(水平荷重)
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水平荷重を1Hzで200回試料に印加した時の応力、ひずみ、時間の関係。

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マイクロ磨耗試験
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試料:ガラスに5 μm のアルミをコーティング
圧子:φ6 μmダイヤモンド球面圧子

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表面粗さのスキャニング
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ニューラルネットワーク法による応力−ひずみ線図
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スチールに対する従来の引っ張り試験法とニューラルネットワーク法による応力−
ひずみ線図の比較(By courtesy of Forschungszentrum Karlsruhe, Germany)

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